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《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分:涡轮分子泵》国家标准征求意见

  本标准中规定了以流量法和小孔法测量体积流率的步骤和装置,最大流量、临界前级压力、压缩比、基础压力、振动等参数的测量方法和测量装置。

  近日,由北京中科科仪股份有限公司起草,TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口的国家标准计划《真空技术性能测量标准方法 第4部分:涡轮分子泵》征求意见稿已编制完成,现公开征求意见。

  涡轮分子泵是利用非常快速地旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的一种真空泵。具有启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空等优点,大范围的使用在高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器、真空镀膜、半导体制造、航空航天、医疗设施和光学仪器等需要获得高真空度制造工艺中。

  本文件按照GB/T 1.12020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

  原有的真空泵标准体系中,对某些种类真空泵性能参数的测量提出了各自的要求,测量装置和性能测量方法等内容多有重复,且表述不清晰。特定真空泵标准的制定以总体要求为基础,依据各自的特性来测定性能数据、极限值和特定运行条件。当特定真空泵的测量方法与总体要求存在一定的差异时,以特定标准为准。GB/T 40344《真空技术 真空泵性能测量标准方法》旨在从真空泵性能共性和特性的角度提出标准测量方法,即总体要求和特定真空泵标准,拟由六个部分构成。

  第 1 部分:总体要求。旨在提供一份用于测量真空泵性能参数的基础文件,简化了今后对特定真空泵标准的制定。包含了三种体积流率的测量方法,以及真空泵基础压力、压缩比和临界前级压力的测量方法。

  第 2 部分:容积真空泵。旨在以总体要求为基础,对容积真空泵的性能测量标准方法加以补充,包含了容积真空泵的体积流率、基础压力、水蒸气容限、功耗和最低启动温度的测量方法。

  第 3 部分:机械增压泵的特定参数。旨在描述机械增压泵的最大容许压差、有效压缩比、零流量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊要求。

  第 4 部分:涡轮分子泵。旨在描述了以流量法和小孔法测量体积流率的测量方法和测量装置,以及最大流量、临界前级压力、压缩比、基础压力、振动等参数的测量方法和测量装置。

  第 5 部分:非蒸散型吸气剂泵。旨在以总体要求为基础,对非蒸散型吸气剂泵的性能测量标准方法加以补充。

  第 6 部分:低温真空泵。旨在以总体要求为基础,对低温真空泵的性能测量标准方法加以补充。

  本文件是GB/T 40344《真空技术 真空泵性能测量标准方法》的第4部分。

  本标准是在 GB/T 40344.1 的基础上,规定了涡轮分子泵的性能测量方法和测量装置。标准中规定了以流量法和小孔法测量体积流率的步骤和装置,最大流量、临界前级压力、压缩比、基础压力、振动等参数的测量方法和测量装置。

  本标准适用于所有规格和型式的涡轮分子泵。包括:带机械轴承或磁轴承的涡轮分子泵、带或不带附加牵引级的或其它转子抽气级的涡轮分子泵、带一个或多个进气口的涡轮分子泵。

  本标准的制定进一步推进真空泵产业体系的优化升级,推动我们国家涡轮分子泵先进装备制造技术的快速发展和质量提升。本标准的发布实施不仅能规范涡轮分子泵的性能要求,为设计、制造、检测和应用提供指导和技术是依据,规范涡轮分子泵产业的有序发展,促进产业体系调整与优化升级。亦能通过规范涡轮分子泵的性能参数和测量规则,实现国内外涡轮分子泵产品以及应用领域的技术比对,为使用者在考虑国内外产品性能时,提供指导依据。有关的资料下载:


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